高纯氦气是由99.8%的惰性气体和0.2的高沸点杂质组成。这种气流经过特殊设备，用化学的方法除去其中的水、二氧化碳等对人体有害的气体后可得到高达7个九（即99．
９％）以上的超高清洁度标准的工业用的性质稳定的大分子团单原子气体；其主要用途是作为新一代超洁净显示技术和半导体工艺中的新型热沉基质材料和高精度光学透镜材料的成份充填物以及用于低速冷冻机及手术制冷等领域。
高纯氦气是一种无色、无味的气体，化学性质稳定。在工业生产中用途广泛：
1.精馏原料要求严格干燥的场合，因为水的存在会严重影响深冷技术的操作和安全；2.在超高能伽马探测技术方面作为一种慢化剂用于核反应堆的运行;3.作为载热介质,输送高温气体或导走生产线上的工艺废热等4.高压液态空气分离获得冷冻水及氧气时产生的不凝性发泡物可利用氮置换将不凝性发泡沫抽出后充入高压液氩容器内作动力用50兆帕表压力以上时可不经液化排除制冷系统内的气泡6可作为强照明光源（可用于夜间钓鱼）.此外还可用作为超低温冷却液体泵浦的动力来源以及干冰制造源等等。
六氟化硫，是一种无色、不易被分解的气体。它有很高的化学稳定性,在通常的条件下不会被氧化或发生任何反应生成其他化合物气体;不溶于水和其他溶剂；其分子内部能形成较强的卤素键和范德瓦尔斯电子对的作用(电负性较大的元素如氧与其它元素的单质结合成二元酸),是优良的高压电气绝缘材料之一。
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